Яфаров Р. К. / Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий.

Рубрика: Физика 1 Ноябрь 2013

Название: Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Автор: Яфаров Р. К.

Аннотация: В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции н подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и на-нотехнологнй на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы.
Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.

Скачать в pdf ( 10,1 МБ ):

Яфаров Р. К. / Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий.




Отзывы закрыты




Ещё записи в рубрике: